1.型 号: FUNCTION 564 2.行 程: X轴 500 mm Y轴600 mm Z轴400 mm 3.结构型式:活动桥式 4.传动方式:直流伺服系统 + 预载荷高精度空气轴承 5.长度测量系统: RENISHAW开放式光栅尺,分辨率为0.5μm 6.机 台:高精度花岗岩平台 7.使用环境:温度(20±2)℃,湿度55%-65% ,温度梯度1℃/m,温度变化 1℃/h 8.空气压力:0.4 MPa - 0.5 Mpa 9.空气流量:120 L/min – 140 L/min 10.整机尺寸(LWH): 1.4 m X 1.6 m X 2.4 m 11.机台承重:550 kg 12.整机重量:850 Kg 13.空间测量精度:(3+L/300)μm